氦气质谱仪，灵敏度最高而且最不具破坏性的测试方法，可用来确保系统的完整性、环境安全与产品质量。 

测漏方式很多，每一种方式不尽相同。因此，测漏比其它的测试需要更深入的专业训练。 

品优可以针对VMB、VMP、Gas Cabinet、气体管路传送系统、真空系统、设备Chamber以及最后阶段的设备连接点进行氦气质量分析测试。

残留气体分析测试

品优可以测试N₂, Ar, H₂, O₂与 He系统中的甲烷、氢气、二氧化碳、一氧化碳、与非甲烷碳化氢的含量。 

基本的 RGA5应用范围包括：

·         气体制造厂质量管理

·         气体管路系统监督

·         纯化器、阀门和其它组件测试

·         超高纯度气体研究

·         中继电路载重证明

RGA5可在现场分析测试VMB、VMP、Gas Cabinet和高纯度气体传送系统，品优也能针对主纯化器的检验和认证，实施氦、氧、氢、氮、与氩气的在线测试。

利用样本储存桶实施远距离分析，此一方法成本低廉、精确度高，可以取代常用的在线气体分析程序。  

水份分析和氧气分析测试

在最先进的半导体制造过程中，利用一连串错综复杂的步骤将电路定型在硅晶圆上。为了制造最细微的款式，采用气表化学反应原理执行上述各步骤，以便精确控制反应的过程。执行方式包括溅镀与化学蒸发淀积，将金属或离子沈淀，并且利用离子处理与活性离子蚀刻等方式清除物质。在潮湿的环境中，化学反应的速度改变，导致电路追踪范围过窄或过宽。另外，水蒸气促使连接反应器的气体输送管腐蚀速度加快，腐蚀的管路释放微小的微粒子，造成短路，引起半导体电路故障。

在半导体制程中十亿分之一浓度的气体，例如氮、氩、氦、与氢等气体，都足以对生产和质量产生不利的影响。硅传送过程中气体产生反应，在晶圆表面形成不必要的栅氧化层，因而改变设备的功能。

品优可以针对高纯度气体传送系统测试潮湿度和气体含量，确保使用点的纯度符合贵公司需求。本公司的仪器可以快速而有效地测试十亿分之一的精确度，并且如期完成各项测试。品优可以前往现场针对VMB、VMP、Gas Cabinet和高纯度气体传送系统实施分析测试。

微粒子测试

半导体晶片的最低外观面积不断减少，不到 0.1µm，而破坏微粒子的面积 (破坏半导体晶片生产的微粒子面积) 已经达到十亿分之一公尺 (nanometer) 的数十倍。  

在测试点实施微粒子侦测，藉以证实高纯度气体传送系统的微粒子污染程度，本公司

也能针对VMB、VMP、Gas Cabinet 和高纯度气体传送系统实施雷射或凝结核数据侦测。