氦氣質譜儀測試

氦氣質譜儀，靈敏度最高而且最不具破壞性的測試方法，可用來確保系統的完整性、環境安全與產品品質。

測漏方式很多，每一種方式不儘相同。因此，測漏比其他的測試需要更深入的專業訓練。

品優可以針對VMB、VMP、Gas Cabinet、氣體管路傳送系統、真空系統、設備Chamber以及最後階段的設備連接點進行氦氣質量分析測試。

残留氣體分析測試

品優可以測試N₂, Ar, H₂, O₂與 He系統中的甲烷、氫氣、二氧化碳、一氧化碳、與非甲烷碳化氫的含量。 

基本的 RGA5應用範圍包括：

·         氣體製造廠品質管制

·         氣體管路系統監督

·         純化器、閥門和其他組件測試

·         超高純度氣體研究

·         中繼電路載重證明

RGA5可在現場分析測試VMB、VMP、Gas Cabinet和高純度氣體傳送系統，品優也能針對主純化器的檢驗和認證，實施氦、氧、氫、氮、與氬氣的線上測試。

利用樣本儲存桶實施遠距離分析，此一方法成本低廉、精確度高，可以取代常用的線上氣體分析程序。

水份分析和氧氣分析測試

在最先進的半導體製造過程中，利用一連串錯綜複雜的步驟將電路定型在矽晶圓上。為了製造最細微的款式，採用氣表化學反應原理執行上述各步驟，以便精確控制反應的過程。執行方式包括濺鍍與化學蒸發澱積，將金屬或離子沈澱，並且利用離子處理與活性離子蝕刻等方式清除物質。在潮濕的環境中，化學反應的速度改變，導致電路追蹤範圍過窄或過寬。另外，水蒸氣促使連接反應器的氣體輸送管腐蝕速度加快，腐蝕的管路釋放微小的微粒子，造成短路，引起半導體電路故障。

在半導體製程中十億分之一濃度的氣體，例如氮、氬、氦、與氫等氣體，都足以對生產和品質產生不利的影響。矽傳送過程中氣體產生反應，在晶圓表面形成不必要的柵氧化層，因而改變設備的功能。

品優可以針對高純度氣體傳送系統測試潮濕度和氣體含量，確保使用點的純度符合貴公司需求。本公司的儀器可以快速而有效地測試十億分之一的精確度，並且如期完成各項測試。品優可以前往現場針對VMB、VMP、Gas Cabinet和高純度氣體傳送系統實施分析測試。

微粒子測試

半導體晶片的最低外觀面積不斷減少，不到 0.1µm，而破壞分子的面積 (破壞半導體晶片生產的分子面積) 已經達到十億分之一公尺 (nanometer) 的數十倍。

在測試點實施微粒子偵測，藉以證實高純度氣體傳送系統的微粒子污染程度，本公司

也能針對VMB、VMP、Gas Cabinet 和高純度氣體傳送系統實施雷射或凝結核數據偵測。